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微型真空泵更多
微型干式真空泵是一種真空泵，因為它是終身免維修。微型無油干機械真空泵(也稱為干式機械泵)，意味著泵可以從大氣壓力下抽出空氣，并將空氣泵直接排入大氣，泵的極限壓力與油封真空泵相同。
目前，真空工業中使用的大多數機械真空泵都是油、水或其他聚合物作為泵的工作介質。在泵中起到冷卻、密封、潤滑等作用。隨著科學技術的發展和真空應用的擴大，原機械真空泵及其泵送系統存在著兩個亟待解決的問題。
首先，微型干式真空泵的工作介質返回污染被容器吸收，在許多情況下影響產品的質量，提高了設備的維護成本。第二，由于一些工藝過程中的反應物質對真空泵中的介質進行了嚴重的變質，泵不能正常工作。
微型干式真空泵廣泛應用于以下幾個方面：
1、低壓化學氣相沉積多晶硅制備技術。
2、半導體蝕刻過程。在這些生產過程中，常用或產生腐蝕性氣體和研磨顆粒。
3、除了半導體技術之外，一些微粒技術不想將顆粒混合到泵油中，希望顆粒會從泵中排出。采用一定類型的干式機械真空泵滿足要求。
4、蒸餾、干燥、脫泡包裝等應防止有機溶劑污染，適用于微型干式真空泵。
5、用作無油清洗真空系統的先導泵，防止油污染。
| 型號 |
電壓 (V DC) |
負載電流 (A) |
功率 (W) |
峰值流量(L/min) | 真空度(abs.) |
負壓 (相對壓力) |
體積 (MAX外形尺寸) (mm) |
重量 (g) |
||
| 三種單位換算值 | ||||||||||
| KPa | mmHg | mbar | KPa | |||||||
| PC4020N | 12 | <1.2 | <14.4 | 20 | 40 | 300 | 400 | -60 |
156×64×72 |
1000 |
| 24 | <0.65 | <15.6 | ||||||||
|
PC3025N |
12 | <1.6 | <19.2 | 25 | 30 | 225 | 300 | -70 | 156×64×72 | |
| 24 | <0.8 | <19.2 | ||||||||
| 對比：標準大氣壓 | 101 | 760 | 1013 |
|
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